#Molecular dynamics sputter yield results for incident particles (0 deg.) on (111) 3C-SiC crystallographic surface; glide-plane terminated with carbon #Incident particle composition, He:D:T 1:1:1. #Temperature[K] Angle[deg] Energy[eV] Si-Sputtering[atoms/particle] C-Sputtering[atoms/particle] Total-Sputtering[atoms/particle] 0 0 25 0.00000000000000000000 0.00016666666666666666 0.00016666666666666666 0 0 50 0.00000000000000000000 0.01316666666666666666 0.01316666666666666666 0 0 100 0.00000000000000000000 0.02233333333333333333 0.02233333333333333333 0 0 150 0.00083333333333333333 0.02233333333333333333 0.02316666666666666666 0 0 200 0.00316666666666666666 0.02366666666666666666 0.02683333333333333332 0 0 300 0.00500000000000000000 0.02450000000000000000 0.02950000000000000000 0 0 400 0.00483333333333333333 0.01916666666666666666 0.02399999999999999999 0 0 600 0.00783333333333333333 0.01933333333333333333 0.02716666666666666666 0 0 800 0.00366666666666666666 0.01883333333333333333 0.02249999999999999999 300 0 25 0.00000000000000000000 0.00050000000000000000 0.00050000000000000000 300 0 50 0.00000000000000000000 0.01533333333333333333 0.01533333333333333333 300 0 100 0.00000000000000000000 0.01950000000000000000 0.01950000000000000000 300 0 150 0.00100000000000000000 0.02350000000000000000 0.02450000000000000000 300 0 200 0.00316666666666666666 0.02533333333333333333 0.02849999999999999999 300 0 300 0.00566666666666666666 0.02200000000000000000 0.02766666666666666666 300 0 400 0.00533333333333333333 0.02066666666666666666 0.02599999999999999999 300 0 600 0.00833333333333333333 0.01866666666666666666 0.02699999999999999999 300 0 800 0.00833333333333333333 0.01883333333333333333 0.02716666666666666666 600 0 25 0.00000000000000000000 0.00033333333333333333 0.00033333333333333333 600 0 50 0.00000000000000000000 0.01133333333333333333 0.01133333333333333333 600 0 100 0.00033333333333333333 0.02050000000000000000 0.02083333333333333333 600 0 150 0.00116666666666666666 0.02133333333333333333 0.02249999999999999999 600 0 200 0.00200000000000000000 0.02416666666666666666 0.02616666666666666666 600 0 300 0.00583333333333333333 0.02300000000000000000 0.02883333333333333333 600 0 400 0.00583333333333333333 0.02000000000000000000 0.02583333333333333333 600 0 600 0.00766666666666666666 0.01816666666666666666 0.02583333333333333332 600 0 800 0.00950000000000000000 0.02350000000000000000 0.03300000000000000000 900 0 25 0.00000000000000000000 0.00050000000000000000 0.00050000000000000000 900 0 50 0.00000000000000000000 0.01383333333333333333 0.01383333333333333333 900 0 100 0.00033333333333333333 0.02050000000000000000 0.02083333333333333333 900 0 150 0.00216666666666666666 0.02383333333333333333 0.02599999999999999999 900 0 200 0.00133333333333333333 0.02550000000000000000 0.02683333333333333333 900 0 300 0.00550000000000000000 0.02200000000000000000 0.02750000000000000000 900 0 400 0.00450000000000000000 0.01900000000000000000 0.02350000000000000000 1200 0 25 0.00000000000000000000 0.00016666666666666666 0.00016666666666666666 1200 0 50 0.00000000000000000000 0.01433333333333333333 0.01433333333333333333 1200 0 100 0.00000000000000000000 0.01866666666666666666 0.01866666666666666666 1200 0 150 0.00166666666666666666 0.02583333333333333333 0.02749999999999999999 1200 0 200 0.00466666666666666666 0.02400000000000000000 0.02866666666666666666 1200 0 300 0.00650000000000000000 0.02300000000000000000 0.02950000000000000000 1200 0 400 0.00633333333333333333 0.02050000000000000000 0.02683333333333333333 1200 0 600 0.00616666666666666666 0.01633333333333333333 0.02249999999999999999 1200 0 800 0.00933333333333333333 0.01966666666666666666 0.02899999999999999999